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Entwicklung eines Herstellungsprozesses für niederohmige, vertikale Leistungs-MOS-Transistoren in Trenchtechnologie unter Verwendung von nur drei Lithographieschritten

Autoren

Uwe Wahl

Parameter

ISBN: 9783898201261
Verlag: Mensch-und-Buch-Verl.

Kategorien

Skripten & Universitätslehrbücher

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2000

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