Fertigung eines magneto-optischen Schreib-, Lesekopfes

MAMMOS (Magnetic Amplifying Magneto Optical System) ist ein magneto-optisches Aufzeichnungsverfahren, welches durch ein zweilagiges Speichermedium besonders hohe Aufzeichnungsdichten verspricht. Während in der unteren Speicherschicht sehr kleine Bitzellen gespeichert werden, erfolgt beim Lesen eine Übertragung der auszulesenden Bits in die obere Speicherschicht. Hierbei kommt es bei der Übertragung zu einer Vergrößerung der Domänen, welche die Auslesbarkeit erleichtert. Sowohl zum Schreiben als auch zum Lesen der Daten wird eine Mikrospule benötigt, die gestattet, ein magnetisierendes Feld zu erzeugen und gleichzeitig durch ihre Mitte einen Laserstrahl passieren zu lassen. Das Schreiben erfolgt mittels magnetischer Feldmodulation. Hierzu muss die Mikrospule eine geringe Induktivität aufweisen, um die gewünschte Aufzeichnungsfrequenz von 1 MHz (1 Mbit/s) zu erzielen. Um die Domänenvergrößerung zu ermöglichen, liefert die Mikrospule während des Leseprozesses ein Stützfeld. Diese Arbeit beschreibt die Fertigung und Charakterisierung der Mikrospule. Besondere Herausforderungen waren die Fertigung auf einem 100 µm dünnen Glassubstrat sowie die Einbringung der notwendigen Durchkontaktierungen in das Substrat.