Epitaktische Schichten der Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga für die Anwendung in Mikrosystemen

Die magnetische Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga gilt aufgrund der hohen, magnetisch erzielbaren Dehnung von bis zu 10% als potentieller Kandidat für die Anwendung in Mikrosystemen. Dies erfordert die Übertragung des an Einkristallen gewonnenen Wissens auf dünne Schichten. Diese Dissertation zeigt einen Weg zu freistehenden, für die Anwendung geeigneten Ni-Mn-Ga-Schichten. Nach grundlegenden Betrachtungen zum magnetischen Formgedächtniseffekt in Kapitel 2, werden in Kapitel 3 die Schichtherstellung mittels Kathodenzerstäubung und die verschiedenen Charakterisierungsmethoden vorgestellt. In Kapitel 4 stehen die in dünnen Schichten beobachteten Zwillingsgrenzentypen im Mittelpunkt. Kapitel 5 beschreibt einen Ansatz zur Bestimmung der Grenzflächenenergie der beobachteten Zwillingsgrenzen. Die Präparation freistehender Schichten mittels Opferschichtverfahren wird in Kapitel 6 vorgestellt. In Kapitel 7 werden die mechanischen Eigenschaften der freistehenden Schichten behandelt. Außerdem werden erste Trainingsergebnisse vorgestellt, die mit einer im Rahmen dieser Arbeit konzipierten Trainingsanlage für dünne Schichten erzielt wurden.