Dreidimensionale Zweipunkt-Beugungsinterferometrie zur Positionsbestimmung von Produktionsmaschinen

Thermomechanische Effekte führen häufig zu ungewollten Verlagerungen des Werkzeugmittelpunktes und beinträchtigen so die Genauigkeit von Produktionsmaschinen. Im Rahmen der Dissertation wird ein Messsystem auf Basis der Zweipunkt- Beugungsinterferometrie zur Erfassung und Korrektur dieser Verlagerungen untersucht und in Form eines Technologiedemonstrators umgesetzt. Anhand von Versuchsläufen auf einem Referenzprüfstand wird zudem die erreichbare Genauigkeit des Demonstrators ermittelt.