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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System, Ernst-Christian Richter
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2022
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- (Paperback)
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- Titel
- Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
- Untertitel
- DE
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Ernst-Christian Richter
- Verlag
- utzverlag GmbH
- Erscheinungsdatum
- 2022
- Einband
- Paperback
- Seitenzahl
- 88
- ISBN13
- 9783831686353
- Reihe
- Schlagwörter
- Sachbücher, Wissenschaft & Mathematik, Natur, Naturwissenschaften, Chemie
- Beschreibung
- Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System