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- 113 Seiten
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This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.
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Chemistry of Atomic Layer Deposition, Seán Thomas Barry
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2021
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- (Paperback)
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- Titel
- Chemistry of Atomic Layer Deposition
- Sprache
- Englisch
- Autor*innen
- Seán Thomas Barry
- Verlag
- De Gruyter
- Erscheinungsdatum
- 2021
- Einband
- Paperback
- Seitenzahl
- 113
- ISBN10
- 3110712512
- ISBN13
- 9783110712513
- Reihe
- Schlagwörter
- Sachbücher, Lehrbücher, Technologie & Industrie, Wissenschaft & Mathematik, Naturwissenschaften, Wissenschaft, Technologie, Chemie, Fachliteratur, Elektronik & Elektrotechnik, Bücher, Chemie-Lehrbücher, Elektronik, Anorganische Chemie, Metallurgie
- Beschreibung
- This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.