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In der vorliegenden Arbeit wird ein Verfahren zur Herstellung großflächiger YBa2Cu3O7-Schichten mittels Laserablation beschrieben. Durch die Verwendung eines bis zu 10 cm breiten, homogenisierten Laserlinienfokus auf einem zylindrischen Target sowie Substratrasterung während der Deposition konnte eine homogene Beschichtung auf Substraten mit Durchmessern bis zu 2" erreicht werden. Dies wird durch Untersuchungen der Schichten mittels Röntgenbeugung, Rutherford-Rückstreuung und induktiven Messungen von kritischer Temperatur und Stromdichte belegt. Monte-Carlo-Simulationen werden vorgestellt, die den Einfluss wichtiger Prozessparameter auf die strukturellen und stöchiometrischen Eigenschaften sowie deren Homogenität beschreiben. Ein weiterer Schwerpunkt sind die Hochfrequenzeigenschaften der Schichten, insbesondere die Leistungsabhängigkeit des Oberflächenwiderstandes R5(B). Die gemessenen Leistungsabhängigkeiten von R5 entsprechen den Verläufen optimierter YBCO-Schichten aus anderen Herstellungsverfahren wie Sputtern und thermischer Koevaporation. Ein deutlicher Anstieg des Oberflächenwiderstandes wird bei Überschreiten eines Magnetfeld-Schwellenwertes B* beobachtet, wobei die Größenordnung und Temperaturabhängigkeit von B* mit den Eigenschaften des unteren kritischen Feldes im Bereich schwacher Kopplung Bc1J übereinstimmen.
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Laserdeposition großflächiger YBa2Cu3O7_346x-Schichten für Hochfrequenzanwendungen, Thomas Bollmeier
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- Erscheinungsdatum
- 1997
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