Hybridpolymere Wellenleiter für die Evaneszent Feld Mikroskopie
Herstellung von bündig versenkten Streifenwellenleitern in PMMA
- 72 Seiten
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Die Arbeit untersucht innovative Methoden zur Herstellung von Wellenleiterstrukturen auf Hybridpolymerbasis, die für die Überwachung zellulärer Prozesse in der Mikro- und Nanotechnologie von Bedeutung sind. Durch die Kombination von Photolithographie und einem Ätzprozess mit reaktiven Ionen werden präzise lichtleitende Elemente entwickelt. Zudem wird die UV-induzierte Brechzahlmodifikation als alternative Technik zur Herstellung dieser Elemente vorgestellt. Die detaillierte Beschreibung aller Arbeitsschritte bietet wertvolle Einblicke in die Fortschritte der Miniaturisierung und deren Anwendung in der biologischen Forschung.
