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Herstellung und Charakterisierung gesputterter TiN-Schichten auf Kupferwerkstoffen

Autoren

Martin Benedikt

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Kategorien

Fotografie & Kameratechnik

Reihe: Berichte aus der Fertigungstechnik

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Herstellung und Charakterisierung gesputterter TiN-Schichten auf Kupferwerkstoffen, Martin Benedikt

Sprache
Erscheinungsdatum: 1994

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