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Doppelheterodyn-Interferometrie zur Profil- und Abstandsmessung an optisch rauhen Oberflächen

Autoren

Edgar Reiner Fischer

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus dem Institut für Technische Optik

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Doppelheterodyn-Interferometrie zur Profil- und Abstandsmessung an optisch rauhen Oberflächen, Edgar Reiner Fischer

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Erscheinungsdatum: 1994

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