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Ionenstrahlunterstütztes Wachstum epitaktischer YSZ-Filme auf SI(100)

Autoren

Thomas Koch

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Konstanzer Dissertationen

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Ionenstrahlunterstütztes Wachstum epitaktischer YSZ-Filme auf SI(100), Thomas Koch

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Erscheinungsdatum: 1996

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