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Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle

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Mikrowellenangeregte Plasmapolymerisation: Plasma- und Schichteigenschaften sowie Entwicklung einer grossflächigen Plasmaquelle, Manfred Stollenwerk

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Erscheinungsdatum
1996
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