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Kinetische Messung und Simulation der Abscheidung von Bornitrid in CVD-CVI-Prozessen

Autoren

Ralf Stolle

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Fotografie & Kameratechnik

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Kinetische Messung und Simulation der Abscheidung von Bornitrid in CVD-CVI-Prozessen, Ralf Stolle

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Erscheinungsdatum: 1997

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