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Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett
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Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett, Udo Streller
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 1997
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- Titel
- Mikrostrukturierung von Silizium mittels lichtinduziertem Trockenätzen im Vakuumultraviolett
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Udo Streller
- Verlag
- Wiss.-und-Technik-Verl.
- Erscheinungsdatum
- 1997
- ISBN10
- 3896854216
- ISBN13
- 9783896854216
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher