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Untersuchung der Auflösungskinetik von CoSi2-Ausscheidungen in Silizium mittels in-situ-Messung der Kobaltausdiffusion bei Aluminium-Gettern

Autoren

Markus Friedel Apel

Parameter

ISBN: 9783895889387
Verlag: Cuvillier

Kategorien

Skripten & Universitätslehrbücher

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1997

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