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Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen

Autoren

Günter Berg

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Werkstofftechnik

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Erzeugung lokaler Eigenschaftsprofile bei PVD-Sputterschichten für tribologische Anwendungen, Günter Berg

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Erscheinungsdatum: 1998

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