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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
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Inhaltsverzeichnis1 Einleitung.2 Stand der Technik.3 Physikalische und physikalisch-chemische Grundlagen der Plasmabeschichtung.4 Versuchsaufbau zur Schichtherstellung.5 Herstellung und Eigenschaften der Schichten.6 Anwendungen.7 Zusammenfassung.8 Literatur.
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Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf, Oliver Morlok
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 1998
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- Titel
- Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Oliver Morlok
- Verlag
- Springer
- Erscheinungsdatum
- 1998
- ISBN10
- 3540645675
- ISBN13
- 9783540645672
- Kategorie
- Fotografie & Kameratechnik
- Beschreibung
- Inhaltsverzeichnis1 Einleitung.2 Stand der Technik.3 Physikalische und physikalisch-chemische Grundlagen der Plasmabeschichtung.4 Versuchsaufbau zur Schichtherstellung.5 Herstellung und Eigenschaften der Schichten.6 Anwendungen.7 Zusammenfassung.8 Literatur.