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Siliziumnitrid aus Hochfrequenz-Magnetron-Kathodenzerstäubung (Sputtern) für die Niedertemperaturpassivierung von Siliziumoberflächen
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Siliziumnitrid aus Hochfrequenz-Magnetron-Kathodenzerstäubung (Sputtern) für die Niedertemperaturpassivierung von Siliziumoberflächen, Michael Vetter
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 1999
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- Titel
- Siliziumnitrid aus Hochfrequenz-Magnetron-Kathodenzerstäubung (Sputtern) für die Niedertemperaturpassivierung von Siliziumoberflächen
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Michael Vetter
- Verlag
- Shaker
- Erscheinungsdatum
- 1999
- ISBN10
- 3826549139
- ISBN13
- 9783826549137
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher