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Zeitaufgelöste STM-Untersuchungen der Eisensilizidbildung bei Gasphasenabscheidung auf Siliziumoberflächen

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Volker Dorna

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Physik

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik

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Zeitaufgelöste STM-Untersuchungen der Eisensilizidbildung bei Gasphasenabscheidung auf Siliziumoberflächen, Volker Dorna

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Erscheinungsdatum: 1999

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