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Spinodale Entmischung bei Ionenimplantation von Al-AlN-Al2-O3-Schichten

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Thorsten Reier

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Werkstofftechnik

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Spinodale Entmischung bei Ionenimplantation von Al-AlN-Al2-O3-Schichten, Thorsten Reier

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Erscheinungsdatum: 2000

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