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Elektronenstrahllithographie und Nanostrukturübertragung zur Herstellung von hochauflösenden diffraktiven Röntgenoptiken aus Nickel

Autoren

Markus Peuker

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Skripten & Universitätslehrbücher

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Elektronenstrahllithographie und Nanostrukturübertragung zur Herstellung von hochauflösenden diffraktiven Röntgenoptiken aus Nickel, Markus Peuker

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Erscheinungsdatum: 2000

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