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Die Schmelzenströmung im Si-Czochralski-Prozeß unter dem Einfluß elektromagnetischer Felder

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Thomas Wetzel

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik

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Die Schmelzenströmung im Si-Czochralski-Prozeß unter dem Einfluß elektromagnetischer Felder, Thomas Wetzel

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Erscheinungsdatum: 2001

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