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Selektive und konforme Abscheidung von (Al)GaAs mittels alternativer chlorhaltiger Metallorganika
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Selektive und konforme Abscheidung von (Al)GaAs mittels alternativer chlorhaltiger Metallorganika, Marc Philippens
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2001
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- Titel
- Selektive und konforme Abscheidung von (Al)GaAs mittels alternativer chlorhaltiger Metallorganika
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Marc Philippens
- Verlag
- Shaker
- Erscheinungsdatum
- 2001
- ISBN10
- 3826593790
- ISBN13
- 9783826593796
- Reihe
- Berichte aus der Halbleitertechnik
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher