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Modelling of microfabrication systems

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First book on modelling of the processing techniques for microsystems Focusses on the fabrication of high-aspect ratio microparts, namely ion beam micromachining, x-ray lithography, laser chemical vapor deposition, laser photopolimerization, laser ablation Includes supplementary material: sn. pub/extras

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Modelling of microfabrication systems, Raja Nassar

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2003
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