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RTP-Siliziumoxide und -Siliziumoxinitride für planare und vertikale Feld-Effekt-Transistoren
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RTP-Siliziumoxide und -Siliziumoxinitride für planare und vertikale Feld-Effekt-Transistoren, Andreas Stadler
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2003
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- Titel
- RTP-Siliziumoxide und -Siliziumoxinitride für planare und vertikale Feld-Effekt-Transistoren
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Andreas Stadler
- Verlag
- Mainz
- Erscheinungsdatum
- 2003
- Einband
- Paperback
- ISBN10
- 3861301555
- ISBN13
- 9783861301554
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher