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Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid
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Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid, Michael Haag
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2003
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- Titel
- Aufbau und Eigenschaften einer Zweikreis-Plasmastrahlquelle für die direkte Plasmastrahldeposition von Hartstoffschichten und deren Anwendung am Beispiel von kubischem Bornitrid
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Michael Haag
- Verlag
- Shaker***5100500
- Erscheinungsdatum
- 2003
- Einband
- Paperback
- ISBN10
- 3832216324
- ISBN13
- 9783832216320
- Reihe
- Berichte aus der Physik
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher