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Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar-SF6-O2-Plasmajet

Autoren

Thomas Arnold

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Physics

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Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar-SF6-O2-Plasmajet, Thomas Arnold

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Erscheinungsdatum: 2005

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