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Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films
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Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films, Stanislav Mráz
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2006
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- Titel
- Influence of the plasma chemistry and energetics on the composition and structure evolution of sputtered oxide thin films
- Sprache
- Englisch
- Autor*innen
- Stanislav Mráz
- Verlag
- Shaker
- Erscheinungsdatum
- 2006
- Einband
- Paperback
- ISBN10
- 3832255222
- ISBN13
- 9783832255220
- Reihe
- Materials chemistry dissertation
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher