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Anwendung und Erweiterung der 3-ω-Methode zur Charakterisierung komplexer Mehrschichtsysteme in der Mikrosystemtechnik

Autoren

Carsten Eric Raudzis

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Skripten & Universitätslehrbücher

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Anwendung und Erweiterung der 3-ω-Methode zur Charakterisierung komplexer Mehrschichtsysteme in der Mikrosystemtechnik, Carsten Eric Raudzis

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Erscheinungsdatum: 2007

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