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Multicompliant MEMS for measurement of adhesion energies and pull-off forces in an electrostatic bearing

Autoren

Daniel Oliver Bachmann

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Kategorien

Physik

Reihe: Scientific reports on micro and nanosystems

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Multicompliant MEMS for measurement of adhesion energies and pull-off forces in an electrostatic bearing, Daniel Oliver Bachmann

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Erscheinungsdatum: 2007
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