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Metallorganische Chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD) ferroelektrischer Dünnschichten: Herstellung und Charakterisierung

Autoren

Jochen Puchalla

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ISBN: 9783893364923
Verlag: Forschungszentrum, Zentralbibliothek

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Buchvariante

2007, paperback

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