Entwicklung und Simulation eines Verfahrens zum elektrochemischen Abtragen von Mikrogeometrien mit geschlossenem elektrolytischen Freistrahl

Autor*innen

• Matthias Hackert-Oschätzchen

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In der Schriftenreihe Präzisions- und Mikrofertigungstechnik werden Forschungsergebnisse und Veranstaltungsbeiträge zu Entwicklungen in der Präzisionsfertigung und der Herstellung mikrostukturierter Bauteile und Oberflächen veröffentlicht. Der Trend zu höherer Präzision in der Fertigung bei steigenden Anforderungen an die Prozesssicherheit stellt eine Herausforderung dar, insbesondere angesichts der zunehmenden Komplexität von Bauteilen in verschiedenen Anwendungen. Die funktionalen Eigenschaften von Oberflächen gewinnen dabei an Bedeutung, da die Fertigungsverfahren maßgeblich deren Eigenschaften im Betrieb beeinflussen. Eine gezielte Weiterentwicklung von Präzisionsfertigungsverfahren ist daher zentral. Der zweite Band der Reihe widmet sich der Elektrochemischen Mikrobearbeitung, einem Verfahren, das aufgrund der anodischen Metallauflösung für die Mikrobearbeitung prädestiniert ist. Einschränkungen ergeben sich durch die zustandsabhängige Leitfähigkeit des Elektrolyten und die Ausbreitung des elektrischen Feldes, was die Vorhersagbarkeit des Prozesses erschwert. Im Rahmen der Dissertation von Herrn Matthias Hackert wurde die Lokalisierung des anodischen Abtrags für die Mikrobearbeitung untersucht. Ein mikrofertigungstechnisches Verfahren wurde entwickelt, das auf elektrochemischem Abtragen basiert und zeigt, dass hochgradig lokalisierte anodische Auflösung bei extremen elektrischen Stromdichten möglich ist. Ein FEM-Modell zu

• Sprache: Deutsch
• Erscheinungsdatum: 2010
• Einband: Paperback