Erzeugung intensiver EUV-Strahlung und deren Wechselwirkung mit Materie

Das Interesse am extrem ultravioletten (EUV)-Spektralbereich ist insbesondere durch die Forderung der Halbleiterlithographie nach immer kleineren Strukturen in den letzten Jahren stark gewachsen. Für die Materialwissenschaften ist diese Strahlung aufgrund der sehr hohen Absorption in jedem bekannten Material hochinteressant. Experimente konnten bisher allerdings nur bei eher geringen Energiedichten und hauptsächlich an Synchrotronstrahlquellen durchgeführt werden. Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung eines kompakten Labor-Aufbaus zur Erzeugung höchster Energiedichten bei einer Wellenlänge von 13,5nm. Basierend auf einem optimierten laserinduzierten Plasma und einem selbst entwickelten Schwarzschild-Objektiv konnten bis dahin unerreichte Energiedichten von mehreren Joule pro Quadratzentimeter erzeugt werden. Die damit durchgeführten Wechselwirkungsexperimente werden vorgestellt und diskutiert. Dazu zählen neben der Strukturierung von Polymeren auch Zerstörschwellentests an EUV-Optiken und anorganischen Materialien wie Glas und Silizium. Durch die gewonnenen Erkenntnisse ist es letztendlich möglich, die Wechselwirkungsmechanismen zwischen EUV-Strahlung und Materie besser zu verstehen.