Near- and mid-infrared integrated silicon devices for sensing applications

In dieser Dissertation werden neue Komponenten für einen optischen Gassensor vorgestellt, die auf Silizium-Wellenleitern basieren. Dieser Ansatz ebnet den Weg für eine mögliche Massenproduktion von kostengünstigen, miniaturisierten Gassensoren, die beispielsweise in Mobiltelefone eingebaut werden könnten, um vor schädlichen oder brennbaren Gaskonzentrationen zu warnen. Es werden drei grundsätzliche Komponenten benötigt, um einen chip-basierten Gassensor zu realisieren: Eine Quelle, die infrarote Strahlung in den Wellenleiter zur Verfügung stellt, eine Gaszelle, in der das optische Signal mit dem Gas wechselwirken kann, und ein Detektor. Diese Themenbereiche werden in der vorliegenden Arbeit diskutiert.