Piezo-aktuierte mikro-opto-elektro-mechanische Systeme für aktive Mikrooptik

In den letzten Jahren steigt der Bedarf an kompakten aktiven mikrooptischen Systemen, welche die optischen Eigenschaften gezielt während des Betriebs anpassen können. Die vorliegende Dissertation befasst sich mit der Entwicklung und Herstellung neuartiger, verstimmbarer Mikrolinsen, welche eine symmetrische und asymmetrische Verformung der Linsenoberfläche und somit eine integrierte Fokus- und Wellenfrontkorrektur ermöglichen.