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The 14 papers in this volume cover topics such as the background to this approach and up-dated status; design and concepts of relevant cluster tools equipment; specific process modules such as deposition chambers (CVD, RTCVD, UVCVD) annealing or etching reactors; and standardization efforts.
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Single chamber processing, Yves I. Nissim
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- Erscheinungsdatum
- 1993
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