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Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen, Karl Paul Müller
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 1990
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- Titel
- Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Karl Paul Müller
- Verlag
- VDI-Verl.
- Erscheinungsdatum
- 1990
- ISBN10
- 3181400092
- ISBN13
- 9783181400098
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher