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Mikro-Membranpumpen als Komponenten für Mikro-Fluidsysteme

Autoren

Roland Zengerle

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Kategorien

Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Halbleitertechnik

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Mikro-Membranpumpen als Komponenten für Mikro-Fluidsysteme, Roland Zengerle

Sprache
Erscheinungsdatum: 1994

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