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Elektrische Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie

Autoren

Christoph Böhm

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 8, Meß-, Steuerungs- und Regelungstechnik

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Elektrische Charakterisierung mikroelektronischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie, Christoph Böhm

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Erscheinungsdatum: 1995

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