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Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Smart-Power-Prozesses zur Herstellung intelligenter Leistungshalbleiter auf SIMOX-Substraten

Autoren

Franz Vogt

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik

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Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Smart-Power-Prozesses zur Herstellung intelligenter Leistungshalbleiter auf SIMOX-Substraten, Franz Vogt

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Erscheinungsdatum: 1996

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