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Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen

Autoren

Jianmin Miao

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik

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Dreidimensionale Mikrostrukturierung von GaAs durch Ionenimplantation für Sensoranwendungen, Jianmin Miao

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Erscheinungsdatum: 1996

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