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Lithographie-unabhängige MOS-Transistoren mit Kanallängen kleiner 100 nm

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Volker Dudek

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik

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Lithographie-unabhängige MOS-Transistoren mit Kanallängen kleiner 100 nm, Volker Dudek

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Erscheinungsdatum: 1997

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