Fertigung von Mischlosen in der Mikroelektronik auf der Basis eines Verfahrens zur Verfolgung von Einzelscheiben

Inhaltsverzeichnis1 Einleitung.1.1 Problemstellung.1.2 Zielsetzung.2 Stand der Technik.2.1 Begriffe und Definitionen.2.2 Flexible Halbleiterfertigung.2.3 Fertigungsgeräte und Materialfluß.2.4 Informationsverarbeitung in der Fertigung.3 Einflüsse auf die wirtschaftliche Fertigung flexibler Losgrößen.3.1 Einfluß der Prozeßtechnik.3.2 Einfluß der Gerätetechnik.3.3 Einfluß der Werkstattsteuerung.3.4 Einfluß von Informationssystemen auf operativer Ebene.3.5 Lösungsansätze zur wirtschaftlichen Fertigung flexibler Losgrößen.3.6 Zusammenfassung der Untersuchungsergebnisse.4 Ableitung der Entwicklungsschwerpunkte.4.1 Anforderungen an das Verfahren zur Mischlosbildung.4.2 Anforderungen an ein System zur Einzelscheibenverfolgung.5 Konzeption eines Verfahrens zur Mischlosbildung.5.1 Modellierung der operativen Ebene.5.2 Arbeitsprinzip der Mischlosverwaltung.5.3 Aufbaustruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.5.4 Ablaufstruktur des Verfahrens zur Mischlosbildung.5.5 Funktionale Defizite auf operativer Ebene.6 Entwicklung eines Systems zur Einzelscheibenverfolgung.6.1 Materialverwaltung.6.2 Umhordetechnik.6.3 Schnittstelle zur Identifikation.6.4 Schnittstelle zur Gerätetechnik.6.5 Schnittstelle zur Werkstattsteuerung.6.6 Systemstruktur.7 Realisierung und Erprobung.7.1 Vorversuche zum Verfahren zur Mischlosbildung.7.2 Realisierung des Systems zur Einzelscheibenverfolgung.7.3 Diskussion der Ergebnisse.8 Zusammenfassung und Ausblick.9 Literatur.