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Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Mikrolampen mit Hilfe der Verfahren der Oberflächenmikromechanik

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Stephan Hell

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik

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Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Mikrolampen mit Hilfe der Verfahren der Oberflächenmikromechanik, Stephan Hell

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Erscheinungsdatum: 1997

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