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Entwicklung eines Prozeßkontrollsystems für einen Vertikalofen mit integrierter ellipsometrischer in situ- und in-line-Schichtdickenmessung
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Entwicklung eines Prozeßkontrollsystems für einen Vertikalofen mit integrierter ellipsometrischer in situ- und in-line-Schichtdickenmessung, Rudolf Berger
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 1998
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- Titel
- Entwicklung eines Prozeßkontrollsystems für einen Vertikalofen mit integrierter ellipsometrischer in situ- und in-line-Schichtdickenmessung
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Rudolf Berger
- Verlag
- Shaker
- Erscheinungsdatum
- 1998
- ISBN10
- 3826538234
- ISBN13
- 9783826538230
- Reihe
- Berichte aus der Halbleitertechnik
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher