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Möglichkeiten und Grenzen der Silizium-Planartechnologie zur Herstellung mikromechanischer Sensoren und deren Verkapselung

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Lu der Elbrecht

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Mikromechanik

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Möglichkeiten und Grenzen der Silizium-Planartechnologie zur Herstellung mikromechanischer Sensoren und deren Verkapselung, Lu der Elbrecht

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Erscheinungsdatum: 1998

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