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Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie
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Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie, Franz Richter
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 1991
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- Titel
- Plasmastrahlungsquelle für den industriellen Einsatz in der Röntgenlithographie
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Franz Richter
- Verlag
- Verl. der Augustinus-Buchh.
- Erscheinungsdatum
- 1991
- ISBN10
- 3860730053
- ISBN13
- 9783860730058
- Reihe
- Aachener Beiträge zur Lasertechnik
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher