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Relaxationsphänomene in keramischen Dünnschichten für zukünftige hochintegrierte Halbleiterspeicher

Autoren

Marcus Schumacher

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe

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Relaxationsphänomene in keramischen Dünnschichten für zukünftige hochintegrierte Halbleiterspeicher, Marcus Schumacher

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Erscheinungsdatum: 1998

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