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Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-Lithographie
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Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-Lithographie, Harald Groß
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 1999
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- Titel
- Arrays miniaturisierter Elektronenoptiken mittels Halbleiter- und Mikromechaniktechnologien für die parallele Elektronenstrahl-Lithographie
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Harald Groß
- Verlag
- Logos-Verl.
- Erscheinungsdatum
- 1999
- ISBN10
- 3897222213
- ISBN13
- 9783897222212
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher