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Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika
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Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika, Harald Roth
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 1999
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- Titel
- Elektrische Eigenschaften von MOCVD-Tantalpentoxid in Mehrschicht-Dielektrika
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Harald Roth
- Verlag
- Shaker
- Erscheinungsdatum
- 1999
- ISBN10
- 3826561333
- ISBN13
- 9783826561337
- Reihe
- Erlanger Berichte Mikroelektronik
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher